SECM掃描探針顯微鏡是一套多功能的SPM掃描探針顯微鏡係統，還可以集成SICM，SECCM等多功能。電化學/電生理掃描探針顯微鏡SECM具備掃描電化學顯微鏡及掃描離子電導顯微鏡成像（SECM/ SICM）與可定製模塊化的光學顯微鏡成像同步聯用的係統。
SECM掃描探針顯微鏡係統組件與功能介紹：
1、機械掃描四軸納米定位係統(模塊)：
1）X/Y/Z 三軸掃描探針定位係統：閉環電路控製的直流伺服XYZ馬達台疊加Z-軸壓電驅動係統，XYZ馬達台具備掃描分辨率≤10nm，馬達掃描軸大動態掃描範圍不小於X=100mm, Y=75mm, Z=50mm；Z-軸配備的納米分辨率壓電驅動係統具備步進分辨率≤1.5納米。掃描係統具備探針與樣品共掃描模式，Z-軸可快速完成長距離下的全自動探針逼近過程。
2）係統具備X/Y/Z/F 四維亞微米便攜式獨立遙控杆，具有慢速和長距離/快速雙模式。
3） XY掃描軸可擴展移動定位範圍，具備手動調節旋鈕可額外擴展 X/Y定位範圍至不少於±12.5 mm。
2、係統無縫集成的微觀光學顯微鏡成像係統（模塊）：
1）核心光學組件倒置集成於XY樣品台的正下方，光學成像對焦由電動馬達自動聚焦驅動器（分辨率≤5.5nm，對焦移動範圍≥5厘米），光學對焦位置可進行數字式調節和記錄。
2）光學成像光路具備模塊化顯微鏡光路設計，核心組件具備臨界照明的落射熒光光學元件，光導耦合器，及用戶可自由調節的濾光片立方體和用於連接像機的C型接口適配器。
3）倒置顯微鏡須配備6孔位物鏡盤，係統配置的物鏡須具有長工作距離的熒光級物鏡，放大倍數至少為4x, 20x和40x。
4）被觀測樣品的光學照片及視頻可由係統相機進行實時采集，激發控製模式支持預設、內部同步、曝光激發、連續曝光模式。
5）光學係統兼容升級接入無縫集成的LED熒光激發光源係統，熒光濾波片組及超高速熒光CCD相機。
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